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MEMS VC(可变电容)加速度计的功能和操作
 
       为了发挥DC响应的可变电容MEMS加速度计的优势,输出显示设备必须处于DC直流耦合状态。如果使用调理器供电,调理器也应该为DC直流耦合。请咨询制造商或查看产品手册的具体细节。因为PCB®大多数VC MEMS加速度计包括内置的电压调节器,它们也可以用任何6-30V电源供电,无任何不良影响。关于附加的电源要求,请查阅各个型号产品手册。

       由于VC MEMS加速度可以测量静态(恒定)加速度,DC偏置电压会由于传感器安装位置没有相对于地球重力对齐而受影响。当加速度计的敏感轴与地球重力垂直,输出等于PCB®出厂校准证书上面标注的0g的偏置电压。如果加速度计的敏感轴与地心重力对齐,输出就等于偏置电压﹢1g的输出。图1和图2显示传感器的方向的例子。

http://benelux.pcb.com/ContentStore/mktg/webimages/International/China/MEMS%20VC%20%E5%9B%BE1.jpg?timestamp=1476945089728
Figure 1. Sensor/sensitive axis not aligned with gravity (zero-g output condition)

  http://benelux.pcb.com/ContentStore/mktg/webimages/International/China/mems%20VC%202.jpg?timestamp=1476945081567
Figure 2. Sensor/sensitive axis mounted in +1g output condition with respect to Earth’s gravity

        VC MEMS 传感器内部电路包括电压调节器。这样允许传感器可以由任何DC恒压源供电。PCB®提供型号482C27(4通道)和483C28(8通道)VC MEMS调理器。其他可接受的电源单元包括汽车或船舶用的电池,和直流电压实验室用品和低压PC板电压电源。  

       电缆屏蔽需要在一端终止以确保地回路不会被诱导。通常,电缆的屏蔽连接到传感器的外壳。如果传感器安装到隔离垫(或者其他形式的电气隔离)将它与被测结构分开,则屏蔽可以连接到信号调理器的信号地或者数据采集的终端。否则,电缆屏蔽应该在仪器终端悬浮(不连接)。

 MEMS VC加速度灵敏度的验证

        由于这些传感器用于关键测量,应该验证下它的灵敏度以确保在规格范围内。使用地球重力加速度作为参考加速度可以进行一个精确的静态校准。首先,为使加速度计放置在+1g的方向,所以将基座/底座放置在安装平面上,型号朝上(如图3所示)。此时方向,加速度计正在经历+1g的加速度。使用万用表DVM记录DC直流电压输出。将传感器180翻转。基座/底座朝上,传感器型号朝下(如图3所示)。在此方向传感器受到-1g的加速度。记录DC直流电压输出。使用下面的公式计算加速度计的灵敏度。灵敏度= [(+1g) – (-1g)] / 2

http://benelux.pcb.com/ContentStore/mktg/webimages/International/China/mems%20vc%203.jpg?timestamp=1476945084466 
Figure 3. Sensor/sensitive axis mounted in -1g output condition with respect to Earth’s gravity

 

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